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氯化氢气体

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微电子工业对电子级氯化氢的新要求
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微电子工业对电子级氯化氢的新要求

发布时间:2020-12-03 15:43:34 打印
    通常,电子级氯化氢是指纯度超过99.999%的高纯度氯化氢气体。除了要求氯化氢气体的纯度以外,还要求氯化氢的性能、质量和种类。
    随着微电子工业向大尺寸、高集成度、高均匀性和高完整性方向迅速发展,对广泛用于单晶硅气相研磨和外延基体腐蚀的电子级氯化氢提出了新的要求。氯化氢中有机杂质(如THC、H2O、金属离子)的含量越纯度超过99.999%越低越好。
    电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓的高温气相蚀刻,去除钠离子。另外,高纯度氯化氢还用于金属表面的化学处理、激光气体混合物、薄膜生产、碳纤维表面处理。过去,我国许多国家从美国、日本等国家进口电子级氯化氢,近年来我国电子工业所需化学气体的研究和开发在技术上取得了很多突破和发展。

    山东言赫不仅生产电子级氯化氢,还生产硫化氢化学级氯化氢、氯化氢等特种气体。言赫化工多年来一直专注于氯化氢行业,是专业可靠的氯化氢厂家。

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